SJ6000光學(xué)干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，以光波為載體，其光波波長可以直接對米進行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準，是高精度、高靈敏度的測量儀器。測量分辨率可達0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成。

產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

(5)具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。

精度高

SJ6000光學(xué)干涉儀采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

激光干涉儀對機床運動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項參數(shù)檢測分析、校準補償?shù)闹匾?，而機床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。從宏觀角度來講，激光干涉儀對機床工具產(chǎn)業(yè)乃至整個制造工業(yè)的升級，都是功不可沒的。